离子体撞击 PLASMA DEGRADATION

描述
此密封件呈现变色，表面上还有被侵蚀的损伤与粉末残余。
促成的因素
化学离子与电子的撞击
不良的沟槽设计
密封件与制程之化学性质不兼容
建议改善方法
使用能抵抗电离子的密封件
检查沟槽的设计，以抵达遭受电离子的撞击
使用可抗某些化学性质的产品