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离子体撞击 PLASMA DEGRADATION

发布时间：2018-05-25 00:00

描述

此密封件呈现变色，表面上还有被侵蚀的损伤与粉末残余。

促成的因素

化学离子与电子的撞击
不良的沟槽设计
密封件与制程之化学性质不相容

建议改善方法

使用能抵抗电离子的密封件
检查沟槽的设计，以抵达遭受电离子的撞击
使用可抗某些化学性质的产品

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